简介
EddyCus® map 2530 RMT 是一款台式扫描成像系统，特别适用于研发实验室及工艺开发。该设备功能完备，不仅可测量表面弯曲的高样品（如晶锭），也可用于晶饼和晶圆的电阻率成像。设备结构紧凑，最大可测量300 mm（12英寸）的样品。
该产品通常用于：
- 表面弯曲的块状材料成像
- 可更换传感器，针对特定测量任务优化
- 可根据样品尺寸定制样品托的布局和形状
- 完善的数据分析、导出及报告功能
- 可测量至样品边缘
- 超过30,000个真实测量点，实现微小缺陷检测
传感器性能
- 电阻率 [0.1 – 100 mΩ·cm]
- 电导率 [0.01 – 65 MS/m]
- 方阻 [取决于电阻率]
- 金属层厚度范围：2 nm – 2 mm
支持的基底
晶锭、晶饼及晶圆
- 最大高度：100 mm
- 最大重量：10 kg
测量区域
样品尺寸范围为 Ø150 mm 至 Ø200 mm
可根据需求定制尺寸。
功能与优势
2–12英寸 — 样品尺寸范围
高样品可测 — 支持高达100 mm的样品
多样化分析功能
测量至边缘 — 极小光斑实现无死角覆盖
快速出结果 — 分钟级完成扫描
高分辨率面扫描成像
操作简便
曲面测量 — 适配弯曲样品表面
测量至边缘 — 极小光斑实现无死角覆盖
得益于SURAGUS XS传感器仅1 mm的超小光斑尺寸，EddyCus® map 2530 RMT 具备极高的空间分辨率。因此传感器可以测量至样品的最边缘区域，记录真实的测量值，而非依赖外推算法来生成样品的完整图像。
高分辨率面扫描成像
扫描分辨率取决于配方中设定的测量间距及样品尺寸。以直径300 mm的晶锭、晶饼或晶圆为例，可设定超过30,000个测量点（1 mm间距）或约300个测量点（10 mm间距），扫描速度相差约10倍。在高分辨率与高速度之间，2.5 mm间距是最佳平衡点——此间距下可在300 mm样品上获得约5,000个真实测量点。
高分辨率确保所有信息完整保留。测量点之间的插值不会产生额外有效信息，因此高分辨率对于检测微小缺陷和瑕疵至关重要。
为确保获得最佳扫描结果，我们提供多种类型的传感器，每种传感器均有其独特优势和适用范围。我们会针对每项测量任务进行分析，确定最合适的传感器配置，以满足您的具体需求。
一台设备，多种测量参数
EddyCus® map 2530 RMT 可测量多种电学参数。电阻率与方阻及金属层厚度具有明确的物理关联。只要材料特性已知，上述所有参数均可实现精确测量。
- 电阻率
- 电导率
- 方块电阻
- 金属层厚度
软件简单易用，提供多种分析功能
EddyCus® map 2530 RMT 配备直观易用的操作软件。将样品居中放置在测量区域后，您只需：
选择测量配方
点击”开始”
在扫描过程中实时观察成像结果
扫描完成后即可进行数据分析，包括：
- 绘制线扫描剖面图
- 预设剖面线
- 自由手绘剖面线
- 划定感兴趣区域
- 矩形选区
- 圆形选区
- 自由绘制选区
- 查看直方图
方块电阻成像
金属膜层厚度成像
电阻率成像（保留）
电各向异性成像
EddyCus® map 2530 RMT 产品介绍视频
通过视频了解 map 2530 RMT 的操作流程、可分析的材料类型及设备的整体工作原理。
适用于多种尺寸的晶锭、晶饼及晶圆
为获得最佳测量结果，样品需精确居中放置。配套的样品定位镶嵌器适用于多种直径的样品（最大至205 mm），可简化并加速定位过程，消除潜在误差源，确保测量结果更加可靠。
弯曲及高样品——晶锭与晶饼
该成像设备可测量高度达100 mm、表面弯曲度达10 mm的样品，同时也可扫描晶圆等薄样品。设备最大承载重量为10 kg，相当于一个直径300 mm、高100 mm的碳化硅晶饼。如需测量更重的样品，请与我们联系获取更多信息。
数据表 — EddyCus® map 2530 RMT
设备参数
| 测量技术 | 高频涡流传感器 |
| 适用基底 | 晶锭、晶饼、晶圆 |
| 基底面积 | 12英寸 / 305 mm × 305 mm（可根据需求扩展） |
| 边缘效应校正/排除 | 2–10 mm（视尺寸、量程、配置及需求而定） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 100 mm |
| 最大样品重量 | 10 kg |
| 扫描间距 | 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 mm（其他间距可按需提供） |
| 探头尺寸（线圈直径） 穿透深度（频率） | 1 – 9 mm（取决于线圈尺寸） 1 – 10 mm（取决于频率） |
| 测量速率（方形样品） | 0.5 分钟内完成 100 个测量点 3 分钟内完成 10,000 个测量点 |
| 扫描速度 | 150 mm/s（扫描时间 1 至 30 分钟） |
| 可用测量功能 | 方阻分布图、 导电率分布图、 电阻率分布图、 电各向异性分布图、 磁导率分布图（Beta 版） |
| 设备尺寸（宽×高×深） | 785 mm × 486 mm × 850 mm（31.5″ × 19.1″ × 33.5″） |
| 重量 | 90 千克
测量能力
| 电阻率测量 | |
|---|---|
| 电阻率测量范围 |
0.1 - 1 mOhm-cm；精度 2 - 5 %
1 - 10 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 10 - 30 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 30 - 100 mOhm-cm；精度 1 - 3 % |
电导率测量 |
| 电导率测量范围 | 0.01 - 65 MS/m | 方块电阻测量 |
| 片状电阻测量范围 |
0.05 - 0.1 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度
0.1 - 10 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 10 - 100 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 100 - 1,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 1,000 - 10,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 |
金属层厚度测量 |
| 金属层厚度测量范围 |
通过转换计算或直接校准实现金属层厚度测量。 |
