方块电阻标准样品套组

用于系统精度的定期校验与重新校准

简介

建议至少每12个月对测量设备的精度进行一次验证。SURAGUS标准样品以NIST标准为基准进行表征，可满足ISO 17025及ISO 9001的要求。标准样品具有稳定、均匀的涂层，提供多种方块电阻范围和尺寸可供选择。根据不同的测量范围，SURAGUS可提供由4至22片样品组成的标准套组。SURAGUS对标定值提供12个月有效期保证，并可提供重新认证服务。

该产品通常用于：

电学表征系统的校准
验证系统测量精度，以满足ISO 9001及ISO/IEC 17025标准要求

测试类型与测量方法

涡流法
两探针及四探针法（4PP）
霍尔效应测量
范德堡（Van der Pauw）法

包装与运输

标准样品和参考样品均采用精密包装
采用不易破损的基板材料，便于安全运输

尺寸规格

晶圆尺寸样品：可选2英寸、3英寸、4英寸、6英寸、8英寸及12英寸
方形样品：10×10 mm、25×25 mm、50×50 mm、100×100 mm、200×200 mm、300×300 mm
其他尺寸可按需定制

材料与层结构

SURAGUS开发了多种薄膜层及层叠结构，覆盖9个数量级的方块电阻范围
每一层均以极高的均匀性沉积
所有样品均经过严格的筛选和非接触式表征流程
所采用的层叠结构经过优化，具有极低的老化特性

认证标准

SURAGUS制造商认证
可按需提供ISO/IEC 17025可溯源参考样品
可按需提供NIST标准

验证与认证

所有参考样品均经过完整的验证流程，包括非接触式方块电阻成像检测以排除缺陷，以及全面的综合验证程序

图片库

参考样品套组数据表

下载产品资料

系统功能

材料	金属及合金（根据方块电阻范围而定）
基板	箔材、玻璃
有效期	1年
尺寸	1英寸至300×300 mm

可选套组

套组包含具有不同方块电阻值的样品，覆盖对应测量范围的全部带宽。

SURAGUS认证*校准参考样品套组：

(8片) 0.1–10 Ω/□

(6片) 0.001–0.1 Ω/□	(14片) 0.01–100 Ω/□	(13片) 0.1–500 Ω/□
(9片) 0.001–1 Ω/□	(15片) 0.01–200 Ω/□	(14片) 0.1–1,000 Ω/□
(15片) 0.001–100 Ω/□	(16片) 0.01–500 Ω/□	(16片) 0.1–2,000 Ω/□
(16片) 0.001–200 Ω/□	(17片) 0.01–1,000 Ω/□	(17 件) 用于 0.1 - 3,000 欧姆/平方米
(17片) 0.001–500 Ω/□	(19片) 0.01–2,000 Ω/□	(18片) 0.1–5,000 Ω/□
(18片) 0.001–1,000 Ω/□	(20片) 0.01–3,000 Ω/□	(4片) 100–500 Ω/□
(20片) 0.001–2,000 Ω/□	(21片) 0.01–5,000 Ω/□	(5片) 100–1,000 Ω/□
	(21片) 0.001–3,000 Ω/□	(7片) 100–2,000 Ω/□
(22片) 0.001–5,000 Ω/□	(11片) 0.1–100 Ω/□	(8片) 100–3,000 Ω/□
	(12片) 0.1–200 Ω/□	(9片) 100–5,000 Ω/□

*请注意，以上参考样品均为SURAGUS认证产品。如需ISO/IEC 17025可溯源参考样品，请联系我们的销售团队。