用于导电薄膜与材料的
涡流传感器

我们设计并制造全系列测量解决方案——从符合人体工程学的手持式仪器、用于单点及面扫描分析的多功能实验室系统,到提供实时质量保证与过程控制的高可靠在线平台。

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寻找合适的测量解决方案可能具有挑战性。我们协助您选择最合适的方案——根据您的工艺和目标量身定制。

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SURAGUS 产品概览

单点测量方案

EddyCus® Portable

手持式设备,用于平面材料的快速检测

EddyCus® portable PS 在圆饼上测量电阻率

EddyCus® Portable PS

配备外接传感器的手持式设备,用于块体材料或弧面的快速检测

EddyCus® lab 2020 TM

台式设备,适用于箔材、晶圆或玻璃等平面材料

EddyCus® lab 2020 RMB

台式设备,适用于晶块、晶棒或铸锭等块体材料

成像方案

EddyCus® map 2530 TM

台式成像设备,适用于箔材、晶圆或玻璃等平面材料

EddyCus® map 2530 RMB

台式成像设备,适用于晶块、晶棒或铸锭等块体材料

EddyCus® map 2530 RMT

台式成像设备,适用于晶块或晶棒等块体及轻微弧面材料

EddyCus® ResMapper

全自动晶圆成像系统

EddyCus® map IK

映射集成套件

用于设备集成的传感器模块

EddyCus® inline MCM

适用于镀膜设备的测量腔体

EddyCus® inline ICM

搬运区与沉积室之间的互联模块

EddyCus® inline SLIM

适用于沉积设备现有闸阀或传输通道的测量附加模块

用于在线集成的传感器

Sensor M

Sensor S

Sensor XS

用于真空环境的极小型非接触式涡流传感器

Sensor XXS

用于真空环境的极小型非接触式涡流传感器

Pin Sensor(针式传感器)

用于部分真空环境的非接触式涡流传感器

Sensor SemiVac

Sensor ASU

Ring Sensor(环形传感器)

与 SURAGUS 会面

在以下活动中与我们见面

我们全年活跃于各大会议和展会——有时作为参展商,有时只是巡展交流。如果您希望与我们会面,欢迎发送邮件,我们很乐意在展会期间或就近安排见面。

通过涡流传感器进行电导率测量

涡流测量仪和传感器通常应用于许多行业的电导率和电阻率测量。大多数系统以接触方式运行,但也提供非接触式选项。使用涡流法的原因多种多样,下面列出了其中一些:

关于 SURAGUS

2010 年,始于德累斯顿

SURAGUS 于 2010 年在德累斯顿成立,现已发展为一支由 50 余名专家组成的团队——涵盖工程师、物理学家和技术人员——共同追求精密与创新。

依托德国顶尖高科技产业集群的研发与制造基地,我们持续突破无损检测技术的边界。创新的工程思维与深厚的技术积淀,推动我们开发出全球行业领导者信赖的前沿涡流解决方案。

阿耳戈斯的百目

我们的名字灵感源自神话与技术:阿耳戈斯·潘诺普忒斯(Argus Panoptes),希腊神话中拥有百目的巨人,象征着永恒的警觉。我们将这一理念应用于您所依赖的每一个表面和薄膜。

SURAGUS 即 SURface ArGUS——您的表面守卫。我们的高频涡流传感器如同工艺中的百只慧眼,在最关键之处提供精确的非接触式测量。

2,000+ 传感器装机量

我们的高频涡流传感器已部署于全球 2,000 余条生产线和测量实验室。从 OEM 设备商到行业创新领军企业,我们的客户遍布美国、亚洲、欧洲及全球各主要地区。

我们的系统稳定运行于六大洲,为工艺工程师提供值得信赖的精度与一致性。

专注一项核心技术

SURAGUS 专注于一件事,并将其做到极致:面向材料与薄膜表征的高频涡流传感器。

凭借对单一技术的深耕,我们致力于成为涡流测量领域的全球权威。这种高度聚焦使我们得以不断突破技术边界、精进性能表现,为追求可靠实时数据的工艺工程师交付无可比拟的测量精度。

碳纤维测试

EddyCus® 系列专门针对碳纤维加工行业。无损检测产品组合包括用于粗纱或丝束制造、纤维铺展、织造和铺层、成型/预成型、注射和灌注 (RTM) 以及拉挤工艺、复合材料测试和回收工艺的解决方案。这涉及间隙检测、方向评估、纤维面密度 (FAW) 测定、各向同性测试以及碳结构和基体中其他效应和缺陷的检测。

在线 R2R / S2S 传感器系统

EddyCus® 系列专门针对碳纤维加工行业。无损检测产品组合包括用于粗纱或丝束制造、纤维铺展、织造和铺层、成型/预成型、注射和灌注 (RTM) 以及拉挤工艺、复合材料测试和回收工艺的解决方案。这涉及间隙检测、方向评估、纤维面密度 (FAW) 测定、各向同性测试以及碳结构和基体中其他效应和缺陷的检测。

在线晶圆监控系统

提供不同的高效晶圆电池。电池和组件制造受成本驱动。为了以最低的制造成本实现最高的效率,必须监控以下过程:

  • 进料晶圆
  • 金属栅线
  • 电极
  • 缓冲层或种子层
  • 隧道氧化层
  • 钝化层