简介
EddyCus® lab 2020 RMB 是一款独特的工业级涡流测量设备，工作频率范围为 10 kHz 至 100 MHz，专为平面样品的表征而设计。通过改变测量频率，可控制涡流的穿透深度。高频测量特别适合表征块体材料和薄膜的近表面特性；同时，测量灵敏度随频率升高而增加，使低电导率材料和涂层同样可以获得精确表征。此外，该设备支持多频率测量，可生成深度剖面图。测量参数包括电导率及其关联特性。
该产品通常用于：
- 不同穿透深度下的块体材料电导率检测
- 材料分选
- 非导电基底上导电层的金属层厚度检测
- 导电材料上涂层厚度测定（提离法）
- 高导电性和低导电性材料近表面薄层的硬度或微观结构等材料特性表征
测量区域
样品尺寸范围：10 mm × 10 mm 至 200 mm × 200 mm，
配有便于定位的标记线
设备四面开放，无尺寸限制。
功能与优势
无样品尺寸限制
可测量厚样品
多样化分析功能
即时获取结果
手动扫描制图
操作简便
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® lab 2020 RMB 可测量多种参数： 方阻与金属层厚度、电阻率和电导率之间存在关联关系。只要材料特性已知，所有参数均可实现高精度测量。
- 电阻率
- 电导率
- 方块电阻
- 金属层厚度
软件与设备控制
- 用户界面友好的操作软件
- 直观的触控屏导航
- 实时测量方阻和层厚
- 软件辅助的手动扫描制图功能
- 多种数据保存与导出选项
EddyCus® lab 2020 RMB 视频
通过视频了解 EddyCus® lab 2020 RMB 的操作方式，包括可分析的材料类型及设备的工作原理。
EddyCus® lab 2020 RMB 产品数据表
设备参数
| 测量技术 | 高频涡流传感器 |
| 适用材料 | Si、SiC、合金、金属、碳基材料 |
| 基板面积 | 8 英寸 / 204 mm × 204 mm |
| 最大样品尺寸 | 无限制（设备四面开放） |
| 可用测量功能 | 方阻、 金属层厚度监测、 电导率、 电阻率 |
| 测量范围 / 精度 | 取决于测量任务、材料成分和被测对象体积，详询 SURAGUS 团队 |
| 设备尺寸（宽×高×深） | 290 mm × 92 mm × 445 mm |
| 重量 | 10 千克 |
测量能力
| 电阻率测量 | |
|---|---|
| 电阻率测量范围 （提供两种传感器设置） |
1 - 100 mOhm-cm；精度 < 3 % 1 - 1,000 mOhm-cm；精度 1 - 5 % |
方块电阻测量 |
| 板材电阻测量范围 （提供两种传感器设置） |
0.01 - 10 欧姆/平方英寸 < 3 % 精度 0.01 - 100 欧姆/平方英寸 < 3 % 精度 |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据薄膜电阻（参见我们的计算器） | 金属层厚度测量 |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据薄膜电阻（参见我们的计算器）） |
