简介
材料导电性由多种特性共同决定，除化学成分外，其结构和纯度也会产生显著影响。EddyCus® map 2530 RMB 是一款专用涡流测绘系统，可对电导率及相关特性进行高分辨率成像，从而揭示材料的性质、效应和缺陷。系统可配备多种EddyCus传感器，分别用于高分辨率或高穿透深度的电导率成像，以及利用差分探头进行缺陷检测。系统支持生成表面图像（涡流C扫描），测量间距可在100 µm至10 mm之间灵活设置。三轴运动系统可扫描最大220 × 220 mm / 8 × 8英寸的二维及2.5D区域。典型应用涵盖导电材料的表面表征，包括碳化硅（SiC）、石墨、金属、合金或钢板等导电半成品。此外，系统还可用于检测印刷电子元件和导电层的电学完整性。
涡流检测可定量表征材料电导率（IACS或MS/m）及电阻率（Ω·m）。材料电导率提供的信息包括材料类型及成分均匀性等。除电学性能的直接信息外，电导率还间接反映材料的热性能、力学性能及结构完整性。
该产品通常用于：
- 测量范围：0.01 – 65 MS/m（0.1 – 110 % IACS）
- 样品尺寸：50 × 50 mm 至 300 × 300 mm
- 形状：平面和曲面
- 可更换传感器，针对特定测量任务优化
- 可根据样品尺寸定制样品托的布局和形状
- 完善的数据分析、导出及报告功能
传感器性能
- 电阻率 [0.1 – 1,000 mΩ·cm]
- 薄层电阻 [0.00005 – 100 Ω/□]
- 金属层厚度（通过换算或直接校准获取）
支持的样品厚度
2 – 4 mm 固定传感器（可根据需求定制）
支持的基底
箔材、玻璃、晶圆、太阳能晶圆等
- 样品最大高度：200 mm
- 样品最大直径：300 mm
- 最大承重：5 kg（取决于直径）
测量区域
- 样品尺寸范围：50 mm × 50 mm 至 300 mm × 300 mm
- 最大测量面积：220 mm × 220 mm
配有便于定位的标记线
功能与优势
2–12英寸晶棒、晶坨、晶锭与晶圆 — 支持多种规格样品
5–200 mm晶棒/晶坨/晶锭厚度 — 适应不同高度的块体材料
多样化分析功能
快速出结果 — 分钟级完成扫描
高分辨率面扫描成像
操作简便 — 用户友好的软件界面
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® map 2530 RMB 可测量多种电学参数。电阻率与薄层电阻及金属层厚度之间存在关联关系，只要材料特性已知，所有参数均可实现精确测量。
- 电阻率
- 电导率
- 方块电阻
- 金属层厚度
软件与设备控制
- 用户界面友好的操作软件
- 实时测绘显示
- 简便易用的统计分析工具
- 预设测量与产品配方（尺寸、间距、阈值）
- 线扫描、直方图与区域分析
- 黑白及彩色编码显示
- CSV及PDF导出
- PC端汇总与导出
- 三级用户权限
- 参数转换材料数据库
- 边缘效应补偿
- 边缘效应补偿
- 数据存储与导入
- 数据集导出（如至EddyEva、MS Excel、Origin）
EddyCus® map 2530 RMB 产品视频
通过视频了解EddyCus® map 2530 RMB的使用方法、适用材料及整体工作原理。
EddyCus® map 2530 RMB 技术规格
设备参数
| 测量技术 | 高频涡流传感器 |
| 适用衬底 | 晶棒、晶坨、晶锭、晶圆（平面、微弧面） |
| 衬底面积 | 12英寸 / 300 mm × 300 mm（可按需加大） |
| 运动范围 | 8英寸 / 220 mm × 220 mm（可按需加大） |
| 边缘效应校正/排除 | 2–10 mm（视尺寸、量程、配置及需求而定） |
| 最大样品厚度 | 200 mm（最大5 kg） |
| 扫描间距 | 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm（其他规格可定制） |
| 扫描速度 | 400 mm/s（扫描时间1至30分钟） |
| 测量模式 | 接触式与非接触式 |
| 可用测量功能 | 电阻率成像、 电导率成像、 薄层电阻成像、 金属厚度成像、 电各向异性图 |
| 设备尺寸（宽×高×深） | 785 mm × 486 mm × 850 mm（31.5″ × 19.1″ × 33.5″） |
| 重量 | 90 千克
测量能力
| 电阻率测量 | |
|---|---|
| 电阻率测量范围 |
0.1 - 1 mOhm-cm；精度 2 - 5 % 1 - 10 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 10 - 30 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 30 - 100 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 100 - 1,000 mOhm-cm；精度 3 - 5 % |
方块电阻测量 |
| 片状电阻测量范围 |
0.05 - 0.1 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 0.1 - 10 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 10 - 100 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 100 - 1,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 1,000 - 10,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 10,000 - 100,000 mOhm/sq；3 - 5 % 精确度 |
金属层厚度测量 |
| 金属层厚度测量范围 |
通过转换计算或直接校准实现金属层厚度测量。 |
