简介
EddyCus® lab 2020 TM 系列是一款结构紧凑的台式测量设备，采用涡流技术对导电薄膜、金属层厚度及方阻进行非接触式单点测量。设备可对最大 200 × 200 mm²（8 × 8 英寸）的样品进行快速、精确的测量，兼容多种材料，包括金属薄膜、掺杂晶圆及导电聚合物等。
EddyCus® lab 2020 TM 提供了一种现代化的非接触测量方案，可替代传统的四探针法（4PP）及其他接触式测量方法。与四探针系统不同，涡流法无需物理接触，无需表面预处理，且不受封装层或表面粗糙度的影响。如需进一步了解涡流法与四探针法的对比，请点击此处查看。
上述优势使 EddyCus® lab 2020 TM 成为研发实验室、质量控制及工艺监控领域的理想之选——尤其适合对测量速度、重复性和无损检测有严格要求的场景。
该产品通常用于：
- 质量控制、来料检验及出厂检验
- 研究与开发
- 样品尺寸：10 × 10 mm² 至 200 × 200 mm²（0.5 × 0.5 英寸至 8 × 8 英寸）
- 测量范围：0.1 mΩ/□ 至 100 kΩ/□
传感器性能
方阻 [0.0001 – 200,000 Ω/□]
金属层厚度 [1 nm – 100 µm]
电阻率
电各向异性 [0.33 – 3]
传感器间距
4 – 20 mm 固定间距传感器（可根据需求定制）
支持的基底
每个样品最大厚度为 8 mm，适用于箔材、玻璃、晶圆、太阳能电池片等。
箔材、玻璃、晶圆、太阳能晶圆等
测量区域
样品尺寸范围：10 mm × 10 mm 至 200 mm × 200 mm，配有定位标线，方便放置。
配有便于定位的标记线
功能与优势
最大 200 × 200 mm 样品尺寸
兼容多种材料
多样化分析功能
即时获取结果
手动扫描制图
操作简便
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® lab 2020 TM 具备多参数测量能力。方阻与金属层厚度、发射率及电阻率之间存在关联关系——只要材料特性已知，即可对以下所有参数进行高精度测量：
- 方块电阻
- 金属层厚度
- 电阻率
- 电导率
- 发射率
- 电学各向异性
软件与设备控制
- 用户界面友好的操作软件
- 直观的触控屏导航
- 实时测量方阻和层厚
- 软件辅助的手动扫描制图功能
- 多种数据保存与导出选项
EddyCus® lab 2020 TM 产品视频
通过视频了解 EddyCus® lab 2020 TM 的使用方法、可分析的材料种类以及设备的基本工作原理。
EddyCus® lab 2020 TM 技术参数表
设备参数
| 测量技术 | 非接触涡流传感器 |
| 适用基底 | 箔材、玻璃、晶圆等 |
| 基底面积 | 8 英寸 / 204 mm × 204 mm（三面开放） |
| 最大样品厚度 / 传感器间距 | 3 / 5 / 10 / 25 mm（根据最厚样品确定） |
| 最大样品厚度 / 传感器间距（扩展） | 透射模式：3 – 50 mm（根据最厚样品确定） ；反射模式：无限制（仅分析表面区域） |
| 可用测量功能 | 方阻测量 电导率 电阻率 电各向异性 磁导率（Beta 版） |
| 测量范围 / 精度 | 取决于测量任务、材料成分和被测对象体积，详询 SURAGUS 团队 |
| 设备尺寸（宽 × 高 × 深） | 11.4" × 5.5" × 17.5" / 290 mm × 140 mm × 445 mm |
| 重量 | 10 千克 |
测量能力
| 方块电阻测量 | |
|---|---|
| 方阻测量范围（五种传感器配置可选） | 超低量程：0.008 – 10 mΩ/□，精度 2 – 3%
极低量程：0.05 – 300 mΩ/□，精度 1 – 3% 低量程：0.001 – 100 Ω/□，精度 1 – 3% 宽量程：0.001 – 3,000 Ω/□，精度 1 – 5% 高量程：100 – 300,000 Ω/□，精度 2 – 5% |
| 金属薄膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm – 2 mm（与方阻对应，参见在线计算器） | 金属层厚度测量 |
| 金属层厚度范围（精度取决于所选配置及金属种类/电导率，如铜、铝、银）。 | 低量程：1 – 10 nm，精度 2 – 5% 标准量程：10 – 1,000 nm，精度 1 – 3% 高量程：1 – 100 µm，精度 0.5 – 3% |
电阻率测量 |
| 电阻率测量范围 | 与方阻和层厚对应（参见在线计算器） | 电学各向异性测量 |
| 方阻范围 | 0.01 – 1,000 Ω/□，精度 1 – 5% |
| 各向异性范围（TD/MD） | 0.33 – 3（更大范围可定制） | 多参数测量 |
|
测量类型 |
湿膜厚度 (µm) / 面重 (g/m²) / 干燥度 (%)；电导率 / 电阻率 (mΩ·cm) / 磁导率 (H/m)（Beta 版）；介电常数 (F/m)（Beta 版 |
| 测量范围 / 精度 | 取决于测量任务、材料成分和被测对象体积，详询 SURAGUS 团队 |
