精密光学仪器
在半导体、工业传感器和汽车等多个行业的不同应用中，都需要精密光学仪器。为实现卓越的光学性能，需要为以下沉积过程配备精密的计量仪器：
- 滤波器涂层（陷波、长通、AR、
- 紫外线，带通（可见光、近红外、长波红外）
- 黑色镀铬
- 镜子
- 光束分离器
- Veril
- 高指数
- 低指数
测试
- 方块电阻
- 电导率
- 厚度
- 同质性
应用领域
- 超薄玻璃
- 柔性玻璃
- 晶片
- Si
- InP
- 砷化镓
- 标准
- 光学产品目录
- 激光光学
流程
- 晶圆级
- 批处理系统
- 加载锁
- 集群系统
- 内联
- S2S
- 承运人
环境
- 真空状态下与脱离真空状态
- 原位与异位
- 在线和离线
类型
- 滤波器涂层（凹槽、长通滤波、AR、UV
- 带通（可见光、近红外、长波红外）
- 黑色镀铬
- 镜子
- 光束分束器
- Veril
- 高指数
- 低指数
