太阳能行业的测量解决方案
过程监控
- 来料硅片检测
- 沉积（物理气相沉积、化学气相沉积等）
- 蚀刻/抛光
- 兴奋剂
- 湿处理
测量
- 板材电阻 [Ω/□]
- 金属层厚度[纳米、微米］
- 电阻率 [欧姆·厘米]
- PN 连接完整性测试
应用领域
- 晶片电阻率监测
- 导电层的薄层电阻监测（ITO 在 HJT 条件下）
非透明（背面）触点（金属）设置的金属层厚度和薄片电阻
解决方案
单点
EddyCus® lab系列
成像
EddyCus® map系列
内联
EddyCus® 在线系列
内联
EddyCus® 在线系列
结果
掺 P 单晶硅片
线条轮廓分析揭示了同质性
