简介
通过使用 EddyCus® 在线传感器线解决方案，可实现涡流全区域监测。SURAGUS 提供可堆叠的 8 个传感器模块，根据不同的配置，最多可对128 个测量通道进行在线监测。
EddyCus 全面积在线解决方案有助于监测小面积和大面积涂层的整个宽度。这样就能以最佳方式跟踪整个产品和工艺质量。因为您只能改进您能测量到的东西，所以我们的解决方案能让您优化产品和工艺质量。这将为您带来超越竞争对手的巨大优势。使用我们的软件，您可以轻松地对数据进行完美分析。监控过程和产品数据非常简单，让您在监控产品质量和过程数据的同时提高产量。
EddyCus® 在线系列可以非接触式测量各种基底上的层特性，如金属层厚度或薄片电阻。典型的基材包括玻璃、箔、纸、晶片、塑料或陶瓷。测量可通过永久测量或触发事件获得，以便在快速移动的镀膜过程中获得等距结果，或在小试样的特定位置进行测量。可在大气和真空环境下进行监测。测量采用高采样率，可直接用于过程控制系统和客户软件。此外，SURAGUS 还提供监测软件 EddyCus 在线控制，可视化、存储和分析计量数据。
传感器功能
- 板材电阻 [0.0001 - 100,000 欧姆/平方英寸］
- 金属层厚度 [2 纳米 - 2 毫米］
- 间隙最大 75 毫米
- 扫描间距 40 毫米
- 最多 128 个传感器
支撑基底
箔、玻璃、晶片、纸张等。
软件
- 多个视图和用户级别
- 带有上下限和警报功能的实时视图
- 提供统计数据的分析视图
- 每秒可处理数千次测量数据
- 将数据存储到 SQL 数据库
- 可定制的自动数据导出（csv、txt、xls…）
- 多项智能功能（自动数据库清理、自我参考等）
- 可参数化的 I/O 模块（触发操作或警报）
EddyCus® 在线传感器数据表
系统功能
| 测量技术 | 非接触式涡流传感器 |
| 基材 | 箔、玻璃、晶片、纸张等 |
| 测量间隙尺寸 | 3 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 毫米 |
| 监控通道数量 | 最多 128 个传感器 |
| 导电层 | 金属/TCO/CNT/纳米线/石墨烯/网格/PEDOT/其他 |
| 扫描间距 | 40 毫米（根据要求为 5 毫米 - 100 毫米） |
| 环境 | Ex-vacuo/ in-vacuo @ T < 60°C / 140°F （根据要求 < 90°C / 194°F） |
| 采样率 | 每秒 1 / 10 / 50 |
| 硬件触发器 | 5 / 12 / 24 V |
| 接口 | UDP、.Net 库、TCP、Modbus、模拟/数字 |
| 可用选项 | 8 传感器阵列，40 毫米间距（阵列总宽度为 320 毫米）* 16 传感器阵列，40 毫米间距（阵列总宽度为 640 毫米）* 32 传感器阵列，40 毫米间距（阵列总宽度为 1 280 毫米）* 48 传感器阵列，40 毫米间距（阵列总宽度为 1 920 毫米）* 64 传感器阵列，40 毫米间距（阵列总宽度为 2 560 毫米）* * 配有标准传感器外壳 |
测量能力
| 板材电阻测量 | |
|---|---|
板材电阻范围 在客户指定的范围内，可通过片材电阻十年 |
0.0001 - 100,000 欧姆/平方；精度为 2 - 7 | 金属层厚度测量 |
| 金属膜（如铜）厚度测量范围 | 2 nm - 2 mm（根据薄膜电阻（参见我们的计算器） |
