涡流技术
下载数据表
联系页面
电话 +49 351 32 111 520
发送电子邮件
EddyCus® inline RS 系列是一款环形传感器,专为穿过管腔或呈线状的导电材料设计,实现非接触式连续在线检测。传感器标准内径为 20 mm,可根据需求定制最大 100 mm 的尺寸。该方案支持先进的过程控制、良率优化,以及来料与出货的可靠检验。
该产品通常用于:
查看技术参数表中的详细数值
直径150 / 200 / 300 mm的晶圆、玻璃等基板
方块电阻、金属层厚度、体电阻率、湿涂层厚度、残余水分,以及电性、介电性和磁性成分的综合监控。
联系我们