用于扁平材料快速检测的手持式设备
配备外部传感器的手持式设备，用于块状材料或弯曲表面的快速检测
用于箔片、晶圆或玻璃等扁平材料的台式设备
用于圆饼、晶棒或铸锭等块状材料的台式设备
用于圆饼或晶棒等块状及轻微弯曲材料的台式设备
全自动晶圆成像工具
映射集成套件
用于沉积工具的测量室。
处理区与沉积室之间的互连模块
用于沉积工具现有闸门或链路传输的测量附加组件。
