用于导电层及基材测量的手持设备

参数：方块电阻 · 金属层厚度 · 电阻率 · 电导率 · 发射率

利用涡流技术进行非破坏性测试 – 快速、准确，可用于现场质量控制。符合人体工程学的笔式传感器，操作简便。

小巧便携的测量设备
可测量隐藏层
手动测量
即时实时测量
通过蓝牙进行数字化数据采集与传输
可测量隐藏层及封装导电层

致电咨询

简介

EddyCus® portable 1010 PS 是一款便携手持测量设备，适用于在生产现场快速接触测量大尺寸玻璃、薄膜、圆饼及晶棒等样品，例如生产后的快速质量抽检或来料检验。该手持设备甚至可以测量隐藏层和封装层。设备操作简便，通过触摸屏即可完成控制。

典型应用：

人工质量控制、来料检验、出厂检验
导电材料的接触式表征
接触式单点测量（可按需提供恒定距离测量）
平面样品尺寸要求：
- 薄膜：≥ 150 × 150 mm（可按需定制 50 × 50 mm 和 100 × 100 mm）
- 块状材料：≥ 50 × 50 × 10 mm

功能与优势

无线数据传输

最长约9小时续航

触摸显示屏

数字化数据采集

快速检测，即时获取数值

< 精度 < 3%，
重复性 <1.5%

可测量大尺寸基材 > 150 mm × 150 mm

数字化数据管理

设备测量能力

EddyCus® portable PS 可测量多种参数。方块电阻与金属层厚度、发射率及电阻率相互关联——只要材料特性已知，所有参数均可实现高精度测量。

查看完整测量范围

软件与设备控制

直观的软件界面让用户可以快速选择预设配方，一键即可启动测量，结果在一秒内显示。

友好的用户界面
触摸显示屏
数字化数据追踪
长续航电池（连续工作约9小时）
即时测量方块电阻及关联参数（如层厚度、发射率），并进行数据汇总
蓝牙接口

EddyCus® portable PS 产品视频

本视频为您展示该系统的操作方法、可分析的材料类型以及设备的整体工作原理。

应用领域

图片库

数据表

测量技术	涡流笔式传感器
测量模式	恒定距离/接触式实时测量
基材	铸锭、圆饼、晶棒、玻璃、薄膜等
基材尺寸	平面样品 > 最小尺寸 10 × 10 mm²；曲面样品曲率半径 ≥ 50 mm
测量点/高灵敏区域	直径 40 mm（1.6 英寸）
电源	锂离子电池，最长约 20 小时
显示屏	2.8 英寸彩色触摸屏
设备尺寸（宽×高×深）/ 重量	87 mm × 178 mm × 48 mm / 340 g
接口	蓝牙（可选）

测量能力 - EddyCus® 便携式 PS

方块电阻测量

板材电阻范围

0.001 - 10 欧姆/平方

薄膜（如铜）厚度测量

2 nm - 20 µm（与薄片电阻有关）

精度

优于 3 %

重复性

优于 1.5 %

发射率测量

发射率范围

0.003 - 0.1

金属层厚度测量

方阻量程	Cu	Al	Ag	Ti
0.001 - 0.1 Ohm/sq	0.17 - 17 µm	0.27 - 27 µm	0.16 - 15 µm	5.5 - 550 µm
0.04 - 0.1 Ohm/sq	170 - 425 nm	270 - 675 nm	155 - 380 nm	5.5 - 13 nm
0.3 - 30 Ohm/sq	0.6 - 56 nm	0.9 - 90 nm	0.5 - 50 nm	0.018 - 1.85 nm
0.3 - 50 Ohm/sq	0.4 - 56 nm	0.6 - 90 nm	0.3 - 50 nm	0.013 - 1.85 µm

电阻率测量

电阻率范围

低：1 - 50 mOhm-cm
标准：50 - 600 mOhm-cm

精度

优于 3 %

重复性

优于 1.5 %

电导率测量

金属及合金电导率范围

0.01 - 65 MS/m

SiC 电导率范围

0.003 - 0.03 MS/m

Si、GaN、GaAs 电导率范围

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