简介
EddyCus® map 2530 TM 系列采用非接触模式，自动完成最大 300 × 300 mm²（12 × 12 英寸） 样品的 方块电阻 面扫描测量。操作人员手动放置样品后，系统即自动执行全面扫描，生成整个表面的高分辨率方阻分布图。
本系统采用固定式涡流传感器，样品台移动实现扫描。这种设计支持 飞行测量（on-the-fly），无需物理接触，彻底消除接触电阻带来的测量误差。根据不同设置，用户可选择 快速测量模式（1分钟以内） 或高空间分辨率模式（单次扫描最多可达 90,000 个测量点）。
非接触式测量 确保了高精度和优异的重复性，不受样品表面状态或接触质量的影响。密集的测量网格可以可靠地检测出材料的不均匀性、变异及缺陷。随机配备的软件提供了丰富的高级分析工具，可满足生产和科研环境中对薄膜的系统化质量控制需求。
该产品通常用于：
- 技术原理：非接触式涡流
- 测量方式：多点扫描成像
- 扫描区域：300 × 300 mm
- 建议样品尺寸：1英寸至12英寸（25 mm 至 300 mm）
传感器性能
- 片状电阻 [0.00005 - 300,000 欧姆/平方英寸］
- 金属层厚度 [1 纳米 - 100 微米］
- 电阻率 [取决于板材电阻］
- 电各向异性 [0.33 - 3]
支持的样品厚度
2 – 4 mm 固定传感器（可根据需求定制）
支持的基底
箔材、玻璃、晶圆、太阳能晶圆等
每个样品最大高度为 4 毫米
测量区域
样品尺寸介于 25 毫米 x 25 毫米和 300 毫米 x 300 毫米之间。
配有便于定位的标记线
可拆卸晶片架
精确测量需要精确的中心定位。
为了方便对中，我们提供了可拆卸的晶圆支架
，可与各种尺寸的晶圆兼容。
材料：PEEK
定制尺寸在 2 英寸 - 300 毫米之间
功能与优势
2–12英寸 — 样品尺寸范围
6个量级 — 方阻测量范围横跨6个数量级
多样化分析功能
快速出结果 — 分钟级完成扫描
高分辨率面扫描成像
操作简便
3D 查看器
一台设备，多种测量参数
EddyCus® map 2530 TM 可测量多种电学参数。方块电阻与金属层厚度、发射率、电阻率及电导率存在对应关系。只要已知材料特性参数，即可高精度地测量上述所有参数。此外，该设备还能测定方阻的电学各向异性。
- 方块电阻
- 金属层厚度
- 电学各向异性
- 发射率
- 电阻率
- 电导率
软件与设备控制
- 用户界面友好的操作软件
- 实时测绘显示
- 简便易用的统计分析工具
- 预设测量与产品配方（尺寸、间距、阈值）
- 线扫描、直方图与区域分析
- 黑白及彩色编码显示
- CSV及PDF导出
- PC端汇总与导出
- 三级用户权限
- 参数转换材料数据库
- 边缘效应补偿
- 边缘效应补偿
- 数据存储与导入
- 数据集导出（如至EddyEva、MS Excel、Origin）
EddyCus® map 2530 TM 视频介绍
通过视频，您可以直观了解 map 2530 TM 的操作方式、可分析的材料类型及设备的整体工作原理。
数据表：EddyCus® map 2530 TM
设备参数
| 测量技术 | 非接触涡流传感器 |
| 适用基板 | 晶圆、玻璃、箔材等 |
| 衬底面积 | 12英寸 / 300 mm × 300 mm（可按需加大） |
| 最大样品厚度 / 传感器间距 | 3 / 5 / 10 / 15 mm（取决于最厚样品） |
| 扫描步距 | 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 mm（其他规格可定制） |
| 测量速率（方形样品） | 0.5 分钟内完成 100 个测量点 3 分钟内完成 10,000 个测量点 |
| 扫描时间 | 扫描时间取决于样品尺寸和步距。 8英寸 / 200 mm × 200 mm：1–10 分钟（步距 1–10 mm）；12英寸 / 300 mm × 300 mm：2–6 分钟（步距 2.5–25 mm） |
| 可用测量功能 | 方阻分布图、 金属层厚度分布图、 电阻率分布图、 电导率分布图、 电学各向异性分布图、 发射率分布图 |
| 设备尺寸（宽×高×深） | 785 mm × 486 mm × 850 mm（31.5″ × 19.1″ × 33.5″） |
| 重量 | 90 千克
测量能力
| 方块电阻测量 | |
|---|---|
| 方阻测量范围 （四种传感器配置可选） |
超低量程：0.05–300 mΩ/sq，精度 1–3%； 低量程：0.001–100 Ω/sq，精度 1–3%； 宽量程：0.001–20,000 Ω/sq，精度 1–5%； 高量程：100–300,000 Ω/sq，精度 1–5% |
| 金属薄膜厚度测量范围（如铜） | 2 nm – 2 mm（与方阻对应，详见在线计算器） | 金属层厚度测量 |
| 金属厚度范围 （精度取决于传感器配置及金属类型/电导率，如铜、铝、银） |
低量程：1–10 nm，精度 2–5%； 标准量程：10–1,000 nm，精度 1–3%； 高量程：1–100 µm，精度 0.5–3% |
| 方阻测量范围 | 0.1 mΩ/sq – 100,000 Ω/sq | 电阻率测量 |
| 电阻率测量范围 | 与方阻和层厚对应（详见在线计算器） | 电学各向异性测量 |
| 方阻范围 | 0.01–1,000 Ω/sq，精度 1–5% |
| 各向异性范围（TD/MD） | 0.33–3（更大范围可定制） | 多参数测量 |
| 测量类型 |
湿膜厚度 (µm) / 面密度 (g/m²) / 干燥状态 (%)
电导率 / 电阻率 (mΩ·cm) / 磁导率 (H/m) Beta 介电常数 (F/m) Beta |
| 测量范围 / 精度 | 取决于具体测量任务、材料成分及被测对象体积，请联系 SURAGUS 技术团队获取详细方案 |
