简介
EddyCus® map 2530 RMT是一款台式扫描仪，特别适用于研究和技术实验室。它的功能齐全，不仅可以测量表面不平整的高样品，如脆饼，还可以测量圆球和晶片。该设备结构紧凑，可测量最大 300 毫米（12 英寸）的样品。
该设备通常用于
- 形状：表面弯曲的散装材料
- 专用于特定测量任务的可更换传感器
- 根据试样尺寸定制试样夹具的布局和形状
- 数据分析、导出和报告功能
- 测量至边缘
- 超过 30 000 个真实测量点，用于小缺陷检测
传感器功能
- 电阻率 [0.1 - 100 欧姆-厘米］
- 电导率 [0.01 - 65 MS/m] (0.01 - 65 MS/m)
- 板材电阻 [取决于电阻率］
- 金属层厚度 [2 纳米 - 2 毫米］
支撑基底
圆球、冰球和威化饼
- 最大高度：100 毫米
- 最大重量：10 千克
测量领域
样品尺寸介于直径 150 毫米和直径 200 毫米之间
根据要求提供个性化尺寸
功能和优点
2 - 12 英寸
可测量的高样本
各种分析选项
衡量边缘
快速结果
高分辨率映射
易于使用
曲面
衡量边缘
由于 SURAGUS 传感器 XS 的光斑尺寸很小，只有 1 毫米，因此 EddyCus® map 2530 RMT 具有极高的空间分辨率。因此，传感器可以测量到样品的边缘。这有助于记录真实的测量值，而不是使用外推算法来生成样品的完整图像。
高分辨率映射
扫描的分辨率取决于配方中选择的测量间距和样品的大小。直径为 300 毫米的圆球、圆球或晶片可以有超过 30,000 个测量点（1 毫米间距）到大约 300 个测量点（10 毫米间距）。扫描速度相差 10 倍。高分辨率和高速度之间的最佳平衡点是 2.5 毫米间距。2.5 毫米间距的扫描可在 300 毫米的圆球、圆球或晶片上获得约 5,000 个实际测量点。
由于分辨率高，所有信息都保持完整。测量点之间的插值不会产生额外的信息。因此，高分辨率对于检测微小缺陷或瑕疵至关重要。
为确保获得最佳扫描结果，我们提供了多种类型的传感器，每种传感器都有自己的优势和局限性。我们会仔细分析每项测量任务，以确定哪种传感器最适合，确保最佳性能满足您的特定需求。
一台设备，多种测量参数
EddyCus® map 2530 RMT能够测量不同的测量参数。电阻率与板材电阻和金属层厚度相关。只要材料已知，所有这些测量参数都可以精确测量。
- 电阻率
- 电导率
- 方块电阻
- 金属层厚度
软件简单易用，提供多种分析选项
EddyCus® map 2530 RMT 用于脆饼、圆球和晶片测量，软件使用方便。将样品中心放置在测量区域后，您可以
选择配方
点击 “开始”
在扫描过程中观看软件创建地图
扫描完成后，您可以开始分析过程。您可以
- 绘制线条轮廓
- 预定义的线路剖面和
- 自由绘制的线条轮廓
- 画出感兴趣的具体领域
- 矩形
- 圆圈
- 用钢笔绘制自由区域
- 选择直方图
片状电阻成像
金属层厚度成像
电阻率成像
电各向异性成像
EddyCus® 地图 2530 RMT 视频
通过视频，您可以了解如何使用地图 2530 RMT。可以分析哪些材料以及设备的总体工作原理。
适用于各种尺寸的小球、小球和威化饼
为了获得最佳效果，必须将样品精确地放置在中心位置。镶嵌器适用于各种直径的样品，最大直径可达 205 毫米。它们简化并加快了定位过程，消除了潜在的误差源，确保获得更可靠的结果。
弧形和高样品，如 Boules 和 Pucks
冰球和冰球成像设备可以测量高度达 100 毫米、最大冰球曲率为 10 毫米的样品。它还可以扫描薄样品，如晶片。该设备支持最大 10 千克的样品重量，相当于直径 300 毫米、高 100 毫米的碳化硅球。如果您需要测量更重的样品，请联系我们获取更多信息。
用于 EddyCus® map 2530 RMT 的数据表
设备功能
| 测量技术 | 高频涡流传感器 |
| 基材 | 小球、圆球、晶片 |
| 基底面积 | 12 英寸 / 305 毫米 x 305 毫米（可根据要求扩大） |
| 边缘效应修正/消除 | 2 - 10 毫米（取决于尺寸、范围、设置和要求） |
| 最大样品厚度/传感器间隙 | 100 毫米 |
| 最大样品重量 | 10 千克 |
| 扫描间距 | 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 毫米（根据要求提供其他规格） |
| 光斑尺寸（线圈尺寸） 穿透深度（频率） |
1 - 9 毫米（取决于线圈尺寸） 1 - 10 毫米（取决于频率） |
| 每次测量点（方形样品） | 0.5 分钟内 100 个测量点 3 分钟内 10,000 个测量点 |
| 速度 | 每秒 150 毫米（时间 1 至 30 分钟） |
| 可用测量功能 | 片状电阻图 电导率图 电阻率图 电各向异性图 渗透率图 (beta) |
| 设备尺寸（宽/高/深） | 31.5 英寸 x 19.1 英寸 x 33.5 英寸 / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米 |
| 重量 | 90 千克 |
测量能力
| 电阻率测量 | |
|---|---|
| 电阻率测量范围 |
0.1 - 1 mOhm-cm；精度 2 - 5 % 1 - 10 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 10 - 30 mOhm-cm；精度 1 - 3 % 30 - 100 mOhm-cm；精度 1 - 3 % |
电导率测量 |
| 电导率测量范围 | 0.01 - 65 MS/m | 板材电阻测量 |
| 片状电阻测量范围 |
0.05 - 0.1 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 0.1 - 10 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 10 - 100 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 100 - 1,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 1,000 - 10,000 mOhm/sq；1 - 2 % 精确度 |
金属层厚度测量 |
|
金属层厚度测量范围 |
通过转换或直接校准测量金属厚度 |
