多功能非接触涡流成像系统

基于非接触涡流检测技术的高速精密面扫描设备,全面提升薄膜与基底的质量管控水平。

简介

用于多种应用的 EddyCus® map 2530 RMT 是一款台式扫描系统,尤其适用于研发及工艺实验室。该系统功能全面,可测量太阳能硅片、印刷电子元件及碳纤维等多种材料,结构紧凑,最大可测量 300 mm(12 英寸)的样品。

该产品通常用于:

  • 印刷电子
  • 太阳能硅片
  • 碳纤维

传感器性能

  • 电阻率 [0.1 – 1,000 mΩ·cm]
  • 电导率 [0.01 – 65 MS/m]
  • 方阻[0.05 mΩ/sq – 100 Ω/sq]
  • 金属层厚度(通过换算或直接校准获取)
  • 距离 [1 - 3,000 µm]

支持的基底

扁平或微曲物体,如太阳能硅片、印刷电子元件、碳纤维等。

  • 最大高度:100 mm
  • 最大重量:10 kg

测量区域

样品尺寸范围为 Ø150 mm 至 Ø200 mm

可根据需求定制尺寸。

应用领域

EddyCus® map 2530 RMT 涡流成像工具,用于测量印刷电子产品的混合解决方案
用于混合溶液的涡流成像工具 EddyCus® map 2530 RMT 涡流成像工具测量单晶硅太阳能晶片
用于测量碳板混合溶液的 EddyCus® map 2530 RMT 涡流成像工具

印刷电子应用

仅通过目视检查不足以确保印刷电子元件的功能可靠性。EddyCus® map RMT 多功能系统能够评估印刷电子元件的完整性并检测异常——即使如下图所示,经过光学检测后肉眼无法发现任何缺陷。

EddyCus® map 2530 RMT 涡流成像工具,用于测量印刷电子产品的混合解决方案
图像 alt 前 图像 alt 后

印刷电子测试结构的实拍照片与对应涡流扫描图

此示例展示了印刷电子测试结构,以及由 EddyCus® map 2530 RMT 多功能系统完成的高分辨率涡流扫描成像。

含缺陷的印刷器件实拍照片与涡流扫描图

此示例展示了含有缺陷的印刷器件。涡流图像由 EddyCus® map 2530 RMT 多功能高分辨率涡流成像设备完成。

图像 alt 前 图像 alt 后
图像 alt 前 图像 alt 后

印刷精细结构的实拍照片与涡流成像

此示例展示了印刷精细结构及其高分辨率涡流扫描成像效果。

太阳能硅片应用

EddyCus® map 2530 RMT 多功能成像设备可测量高度不超过 40 mm、最大弯曲度为 10 mm 的样品,支持最大 5 kg 的样品重量(视直径而定)。如需测量更重的样品,请联系我们获取详细信息。

  • 太阳能硅片
  • 薄膜光伏组件
  • 晶硅太阳能电池
图像 alt 前 图像 alt 后

晶硅太阳能电池扫描示例

扫描图像清晰呈现了太阳能电池的导电结构。

EddyEVA 分析软件

EddyEVA 分析软件支持对样品完整性进行深入分析。

  • 可展开查看所有属性
  • 类似 CAD 的界面结构
    • 属性框
    • 多视图窗口
    • 窗口布局可自由调整
  • 预设视图可快速切换
    • 扫描视图
    • 阻抗视图
    • 感兴趣区域 (ROI)
    • HOG 视图

软件简单易用,提供多种分析功能

EddyCus® map 2530 RMT 多功能系统配备简洁直观的操作软件。将样品居中放置在测量台后,即可:

  • 选择测量配方
  • 点击”开始”
  • 在扫描过程中实时查看成像结果

扫描完成后,可进行深入分析:

  • 绘制线扫描剖面图
    • 预设剖面线
    • 自由手绘剖面线
  • 划定感兴趣区域
    • 矩形选区
    • 圆形选区
    • 自由绘制选区
  • 查看直方图

金属膜层厚度成像

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电阻率成像(保留)

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电各向异性成像

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EddyCus® map 2530 RMT 产品介绍视频

本视频为您展示该系统的操作方法、可分析的材料类型以及设备的整体工作原理。

图片库

EddyCus® map 2530 RMT 多功能系统技术参数

设备参数


90 千克
测量技术 高频涡流传感器
适用基材 太阳能硅片、碳材料、PCB、印刷电子元件
最大扫描面积 12 英寸 / 300 mm × 300 mm
边缘效应校正/排除 2–10 mm(视尺寸、量程、配置及需求而定)
最大样品厚度 / 传感器间距 40 mm
步进间距 0.1 – 10 mm
最大样品厚度 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 毫米(根据要求提供其他规格)
探头尺寸(线圈直径) 穿透深度(频率)1 – 9 mm(取决于线圈尺寸)
1 – 10 mm(取决于频率)
测量速率(方形样品) 0.5 分钟内完成 100 个测量点
3 分钟内完成 10,000 个测量点
扫描速度 150 mm/s(扫描时间 1 至 30 分钟)
可用测量功能 方阻分布图、
导电率分布图、
电阻率分布图、
电各向异性分布图、
磁导率分布图(Beta 版)
设备尺寸(宽×高×深) 785 mm × 486 mm × 850 mm(31.5″ × 19.1″ × 33.5″)
重量

测量能力

板材电阻测量
方阻范围 0.0005 – 100 Ω/sq
准确度 1 - 3 %
重复性 0.5 - 1.5 %
电阻率测量
电阻率范围 0.1 - 1,000 mOhm-cm
准确度 1 - 3 %
重复性 0.5 - 1.5 %
导电率测量
导电率范围 0.01 - 65 MS/m
准确度 1 - 3 %
重复性 0.5 - 1.5 %
非导电涂层测量
距离范围 1 – 3,000 µm
准确度 通过可行性研究确定
重复性 通过可行性研究确定

常见问题

板材电阻、金属层厚度、电阻率、导电率

50 毫米 – 300 毫米样品(根据要求提供其他样品)