电阻率测绘和晶圆、晶坯、晶锭和晶圆的缺陷识别

利用非接触式涡流技术进行快速、精确的测绘,从而提高薄膜和基片的质量。专为碳化硅或硅块等散装材料设计,最大重量 5 千克,高度 200 毫米,还可测量晶片。

简介

各种材料的特性决定了材料的导电性。除成分外,结构和纯度也会影响导电性。EddyCus® map 2530RMB是一种涡流绘图系统,专门用于对电导率和相关特性进行高分辨率成像,以揭示材料特性、影响和缺陷。该系统可配备各种 EddyCus 传感器,用于高分辨率电导率成像或高穿透率成像,并通过使用差分探头进行缺陷检测。系统支持创建表面图像(涡流 C 扫描),测量间距从 100 微米到 10 毫米不等。三轴系统能够扫描尺寸最大为 220 x 220 毫米/8 x 8 英寸的 2D 和 2.5D 区域。典型应用包括导电材料的表面表征,如碳化硅、石墨、金属、合金或钢板或其他导电半成品。此外,该系统还可用于测试印刷电子元件和层的电气完整性。

涡流检测可以量化材料的电导率[IACS 或 MS/m]或电阻率[Ohm-m]。材料的电导率提供了有关材料特性的信息,如材料类型和材料成分的均匀性。除了有关电特性的直接信息外,电导率还包含有关热特性、机械特性和结构完整性的信息。

该设备通常用于

  • 测量范围:0.01 – 65 MS/m (0.1 – 110 % IACS)
  • 试样尺寸:50 x 50 毫米至 300 x 300 毫米
  • 形状:平面和曲面
  • 专用于特定测量任务的可更换传感器
  • 根据试样尺寸定制试样夹具的布局和形状
  • 数据分析、导出和报告功能

传感器功能

  • 电阻率 [0.1 - 1,000 欧姆-厘米]
  • 板材电阻 [0.00005 - 100 欧姆/平方英寸]
  • 金属层厚度 [转换或直接校准]

支持的样品厚度

2 - 4 毫米固定传感器(可根据要求定制)

支撑基底

箔、玻璃、晶片、太阳能晶片等

  • 每个样品最大高度为 200 毫米
  • 每个样品的最大直径为 300 毫米
  • 最大重量 5 千克(取决于直径)

测量领域

  • 样品尺寸在 50 毫米 x 50 毫米和 300 毫米 x 300 毫米之间。
  • 最大测量面积 220 毫米 x 220 毫米

带有便于定位的标记。

功能和优点

2 - 12 英寸圆球、圆球、圆锭和圆片

5 - 200 mm 棒料、冰球、锭料厚度

各种分析选项

快速结果

高分辨率映射

易于使用

3D 查看器

一台设备,多种测量参数

EddyCus® map 2530 RMB可以测量不同的测量参数。电阻率与板材电阻和金属层厚度相关。只要材料已知,所有这些测量参数都可以精确测量。

软件和设备控制

  • 非常方便用户使用的软件
  • 实时绘图测量
  • 易于使用的统计分析选项
  • 预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)
  • 线性扫描、直方图和区域分析
  • 黑色和彩色图像编码
  • 导出 Csv 和 pdf
  • PC 摘要和导出
  • 3 用户级别
  • 参数材料数据库
  • 转化
  • 边缘效应补偿
  • 存储和导入数据
  • 导出数据集(如导出至 EddyEva、MS Excel、Origin)

EddyCus® 地图视频 2530 RMB

通过视频,您可以了解如何使用 2530 人民币地图。可以分析哪些材料,以及设备的总体工作原理。

应用领域

电导率测定和电导率成像提供了有关以下方面的洞察力:

  • 材料类型和材料纯度
  • 材料成分和成分变化评估
  • 杂质/漂浮物
  • 结构和结构完整性方面的差异
  • 铸造材料的凝固行为
  • 受导电率影响的特性,如硬度、应力、晶界和其他特性

图片库

EddyCus® 地图 2530 人民币数据表

设备功能

测量技术 高频涡流传感器
基材 小球、圆球、铸锭、晶片(平面、略微弯曲)
基底面积 12 英寸 / 300 毫米 x 300 毫米(可根据要求扩大)
移动区域 8 英寸/220 毫米 x 220 毫米(可根据要求加大)
边缘效应修正/消除 2 - 10 毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求)
最大样品厚度 200 毫米(最大 5 千克)
扫描间距 0.1 / 1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(根据要求提供其他规格)
速度 每秒 400 毫米(时间 1 至 30 分钟)
模式 接触式和非接触式
可用的测量功能 电阻率成像
传导率成像
薄片电阻成像
金属厚度成像
电各向异性图
设备尺寸(宽/高/深) 31.5 英寸 x 19.1 英寸 x 33.5 英寸 / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量 90 千克

测量能力

电阻率测量
电阻率测量范围 0.1 - 1 mOhm-cm;精度 2 - 5 %
1 - 10 mOhm-cm;精度 1 - 3 %
10 - 30 mOhm-cm;精度 1 - 3 %
30 - 100 mOhm-cm;精度 1 - 3 %
100 - 1,000 mOhm-cm;精度 3 - 5 %
板材电阻测量
片状电阻测量范围 0.05 - 0.1 mOhm/sq;1 - 2 % 精确度
0.1 - 10 mOhm/sq;1 - 2 % 精确度
10 - 100 mOhm/sq;1 - 2 % 精确度
100 - 1,000 mOhm/sq;1 - 2 % 精确度
1,000 - 10,000 mOhm/sq;1 - 2 % 精确度
10,000 - 100,000 mOhm/sq;3 - 5 % 精确度
金属层厚度测量
金属层厚度测量范围
通过转换或直接校准测量金属厚度