用于导电薄膜和材料的
涡流传感器

我们设计并制造全系列的测量解决方案——从符合人体工程学的手持式仪器、用于单点和映射分析的多功能实验室系统,到提供实时质量保证和过程控制的稳固在线平台。

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寻找合适的测量解决方案可能具有挑战性。我们协助您选择最合适的方案——根据您的工艺和目标量身定制。

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SURAGUS 产品概览

单点测量解决方案

EddyCus® Portable

用于扁平材料快速检测的手持式设备

EddyCus® portable PS 在圆饼上测量电阻率

EddyCus® Portable PS

配备外部传感器的手持式设备,用于块状材料或弯曲表面的快速检测

EddyCus® lab 2020 TM

用于箔片、晶圆或玻璃等扁平材料的台式设备

EddyCus® lab 2020 RMB

用于圆饼、晶棒或铸锭等块状材料的台式设备

成像解决方案

EddyCus® map 2530 TM

用于箔片、晶圆或玻璃等扁平材料的台式设备

EddyCus® map 2530 RMB

用于圆饼、晶棒或铸锭等块状材料的台式设备

EddyCus® map 2530 RMT

用于圆饼或晶棒等块状及轻微弯曲材料的台式设备

EddyCus® ResMapper

全自动晶圆成像工具

EddyCus® map IK

映射集成套件

用于工具集成的传感器模块

EddyCus® inline MCM

用于沉积工具的测量室。

EddyCus® inline ICM

处理区与沉积室之间的互连模块

EddyCus® inline SLIM

用于沉积工具现有闸门或链路传输的测量附加组件。

用于在线集成的传感器

Sensor M

Sensor S

Sensor XS

用于真空环境的极小型非接触式涡流传感器

Sensor XXS

用于真空环境的极小型非接触式涡流传感器

针式传感器

用于部分真空环境的非接触式涡流传感器

Sensor SemiVac

Sensor ASU

环形传感器

与 SURAGUS 会面

在这些活动中找到我们

我们全年都在出差——有时作为参展商,有时只是在领先的会议和贸易展览会上巡场。想要见面吗?请给我们发送电子邮件,我们很乐意在活动期间或在附近的咖啡馆安排时间。

通过涡流传感器进行电导率测量

涡流测量仪和传感器通常应用于许多行业的电导率和电阻率测量。大多数系统以接触方式运行,但也提供非接触式选项。使用涡流法的原因多种多样,下面列出了其中一些:

关于 SURAGUS 的简要事实

2010 年成立于德累斯顿

SURAGUS 于 2010 年成立于德累斯顿,现已发展成为一支由 50 多名专家组成的团队——包括工程师、物理学家和技术人员——他们对精密和创新有着共同的热情。

在德国领先的高科技中心之一,我们拥有研发和制造设施,不断突破无损检测的极限。我们的创意工程精神和深厚的技术诀窍推动了尖端涡流解决方案的开发,赢得了全球行业领导者的信任。

阿耳戈斯的百只眼睛

我们的名字灵感源自神话与技术:阿耳戈斯·潘诺普忒斯(Argus Panoptes)是拥有 100 只眼睛的百眼巨人,象征着时刻保持警惕。我们将同样的原则应用于您所依赖的表面和薄膜。

SURAGUS 代表 SURface ArGUS——您的表面卫士。我们的高频涡流传感器就像您工艺中的 100 只眼睛,在最关键的地方提供精确的非接触式测量。

2,000+ 传感器单元

我们的高频涡流传感器已安装在全球 2,000 多条生产线和测量实验室中。从原始设备制造商(OEM)到行业和创新领导者,我们为美国、亚洲、欧洲以及全球所有其他主要地区的客户提供支持。

我们的系统在六大洲可靠运行,提供工艺工程师所依赖的精确性和一致性。

1 项测试技术

在 SURAGUS,我们专注于一件事,并将其做到极致:用于材料和薄膜表征的高频涡流传感器。

通过致力于单一技术,我们的目标是成为涡流测量领域的全球领先权威。这种如激光般精准的专注使我们能够突破界限、优化性能,并为需要可靠实时数据的工艺工程师提供无与伦比的精度。

碳纤维测试

EddyCus® 系列专门针对碳纤维加工行业。无损检测产品组合包括用于粗纱或丝束制造、纤维铺展、织造和铺层、成型/预成型、注射和灌注 (RTM) 以及拉挤工艺、复合材料测试和回收工艺的解决方案。这涉及间隙检测、方向评估、纤维面密度 (FAW) 测定、各向同性测试以及碳结构和基体中其他效应和缺陷的检测。

在线 R2R / S2S 传感器系统

EddyCus® 系列专门针对碳纤维加工行业。无损检测产品组合包括用于粗纱或丝束制造、纤维铺展、织造和铺层、成型/预成型、注射和灌注 (RTM) 以及拉挤工艺、复合材料测试和回收工艺的解决方案。这涉及间隙检测、方向评估、纤维面密度 (FAW) 测定、各向同性测试以及碳结构和基体中其他效应和缺陷的检测。

在线晶圆监控系统

提供不同的高效晶圆电池。电池和组件制造受成本驱动。为了以最低的制造成本实现最高的效率,必须监控以下过程:

  • 进料晶圆
  • 金属栅线
  • 电极
  • 缓冲层或种子层
  • 隧道氧化层
  • 钝化层